北崎供應ULVAC愛發科WP-02傳感器真空規管

北崎供應ULVAC愛發科WP-02傳感器真空規管

真空泵真空泵

干泵LS系列

愛發科擁有品類十分齊全的干泵、油泵、低溫泵、分子泵等等，并提供各種泵的問題診斷和維修服務。

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真空計真空計

皮拉尼真空計 G-TRAN系列

包含了從大氣壓開始到真空為止測定的皮拉尼真空計。變送器型真空計是采用傳感器和計量回路一體設計（也有分離型），實現省裝置成本，省安裝空間，省配線的目的。

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檢漏儀檢漏儀

檢漏儀HELIOT 900系列

愛發科的檢漏儀是可對應He檢漏的全部需求的全自動檢漏裝置。

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真空搬運機械手真空搬運機械手

真空搬送機械手ELEC-RZ

愛發科作為技術和經驗豐富的真空器械廠家，愛發科的真空機械手是一種具有潔凈且信賴性高的搬送平臺。

軟件軟件

設備診斷系統 FABISEQ

通過FABISEQ可采集工藝設備的數據，在軟件上進行圖表顯示。通過設備數據的可視化，可調查發生不良的原因和經過，實現工藝安定性的觀察