原裝KASHIYAMA樫山工業(yè)MU20N18X節(jié)能干式真空泵

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能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用的單螺桿形狀實(shí)現(xiàn)節(jié)能、多樣化的產(chǎn)品線可滿足所有流程

多種溫度變化可滿足多種工藝需求，并通過20000L/min等級(jí)比本公司減少35%的足跡新的加熱器系統(tǒng)進(jìn)一步提高工藝耐用性

符合各種要求規(guī)格的產(chǎn)品規(guī)格以安全標(biāo)準(zhǔn)和安全設(shè)計(jì)為首要任務(wù)的高可靠性設(shè)計(jì)

DX節(jié)能/嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)、SDT/SDH耐工藝/超嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)
不使用N2吹掃時(shí)的值。 最終運(yùn)行時(shí)功耗的近似值。 封裝尺寸。請索取外部圖紙以了解詳細(xì)尺寸。