轉子設計和怠速功能，實現節能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應用，從負載鎖和 SEM 等輕負載應用到腐蝕性工藝。

特長
通過寬范圍溫度控制實現廣泛的工藝覆蓋
節能·省空間
應對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等