更新時間:2026-11-05
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簡化整機機械布局管線、光纖、真空吸嘴管路、傳感器線纜可以直接從馬達中心通孔穿過,不需要在旋轉平臺外側預留走線空間,省去外置旋轉接頭、拖鏈、管線支架,機構設計更加簡潔,設備整體體積更容易做小。
規(guī)避管線纏繞干涉風險平臺持續(xù)旋轉、往復角度擺動時,管線隨軸心同步轉動,不會和外部支架、周邊零件發(fā)生剮蹭、纏繞,避免管線被拉扯破損,大幅降低管線斷裂、漏氣、信號斷線的故障概率。
提升旋轉平臺同軸度氣路、光路集中在旋轉中心,負載重心更靠近回轉中心,減少偏心帶來的震動,高速分度或者微小角度校正時,運行更平穩(wěn),對光學成像、視覺檢測的干擾更小。
適配潔凈與真空工況減少外部旋轉接頭這類易磨損零件,降低摩擦產(chǎn)生粉塵的可能性,符合半導體、光學無塵車間的潔凈要求;同時中空結構方便真空管路直通載臺,用于晶圓、玻璃基板吸附固定。
減少信號干擾光路、信號線從軸心內部走線,遠離電機外側動力線纜,布局規(guī)整,降低動力線對微弱光學信號、傳感器信號的電磁干擾。
晶圓校正載臺、探針臺角度旋轉機構、晶圓外觀 AOI 檢測轉臺。真空吸附管路直接從中心通孔通往吸盤,配合視覺完成角度找正,是 MDH 系列最主流的應用場景。
鏡頭旋轉調節(jié)機構、偏振片旋轉臺、分光鏡角度調節(jié)機構。光纖、光源線纜從中空通道走線,避免外部管線遮擋光路,保證光學路徑穩(wěn)定。
小型旋轉夾爪、電動夾爪旋轉關節(jié)。夾爪氣管、傳感器線纜從軸心穿過,夾爪持續(xù)旋轉時不會扭線,適合 3C、光學零部件拾取校正。
小型樣品旋轉載臺、檢測試管分度機構。管路走線集中,結構緊湊,方便整機做密封防護,滿足潔凈檢測需求。
多工位小型轉盤、微量樣品切換旋轉平臺。中空通道可布置氣源、信號線路,適合空間受限、需要頻繁分度旋轉的自動化工位。
負載偏重、軸向載荷很大,優(yōu)先選用 MDS 實心軸版本,剛性和承載能力更優(yōu);
不需要中心走線、追求成本,實心軸機型性價比更高;
連續(xù) 360° 無限旋轉且管線彎折半徑極小,即便中空走線,依然存在線材疲勞老化風險,需要評估旋轉圈數(shù)限制。