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更新時間：2025-04-23
點擊次數(shù)：368
# 2025年新品發(fā)布會#
日期：2025年4月23日
時間：8：30-18：30
近期我司新推出升級了原裝現(xiàn)貨EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵
轉(zhuǎn)子設(shè)計和怠速功能，實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應(yīng)用，從負載鎖和 SEM 等輕負載應(yīng)用到腐蝕性工藝。
特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等
| 型式 | 単位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
| 排気速度 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 | |
| 到達圧力 | Pa | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 接続口徑 | 吸気口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 電源 相／電圧／周波數(shù) | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | kVA | 4 | 7 | 7 | 12.3 | |
| 概略質(zhì)量 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 | |
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