2026?08?19近期，TORAY 東麗工程發布新一代微量氧分析儀，進一步把痕量氧氣檢測能力拓展至 ppb 級別，為半導體、新能源、高純氣體等精密制程提供更高水準的氧含量監測手段，補齊超低氧環境管控的設備需求。

新一代分析儀沿用成熟氧化鋯傳感技術，對傳感器涂層、信號處理模塊進行升級優化，降低基線漂移，實現 ppb 級微量氧穩定檢測，同時兼顧 ppm 至 100% VOL 的寬量程覆蓋，兼顧超低痕量檢測與常規工況測量需求。設備響應速度更快，可快速捕捉腔體內部氧含量的微小波動，幫助生產端及時發現微量泄漏問題，減少因氧超標帶來的產品氧化、良率下降等問題。

設備兼顧現場實用性，支持直插式與采樣式多種測量形式，適配真空腔體、手套箱、熱處理爐、高純供氣管路等不同現場條件，支持數字、模擬信號輸出，方便對接產線控制系統，實現在線連續監測。傳感器經過特殊防護處理，提升抗污染能力，降低長期運行的維護壓力。

當下半導體鍍膜、鋰電燒結、新材料研發等領域，對氣氛中殘余氧的管控標準持續收緊。該新品的推出，進一步豐富東麗在微量氧檢測領域的產品矩陣，為國內精密制造行業提供可靠的痕量氧監測解決方案。