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ULVAC愛發科 GR180A 通用帶電機羅茨真空泵 干式真空泵“Model：GR”是在久經考驗的“Model：LR?HR”的基礎上，為一般工業設計的結構簡單的泵。

ULVAC愛發科 通用帶電機羅茨真空泵 GR90A 干式真空泵“Model：GR”是在久經考驗的“Model：LR?HR”的基礎上，為一般工業設計的結構簡單的泵。

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ULVAC愛發科 機械增壓泵 PRC-018A “Model：PRC” 是一種機械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導體和液晶制造工藝。 采用封閉電機，油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅動類型作為選項。

ULVAC愛發科 PRC-012A 機械增壓泵 “Model：PRC” 是一種機械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導體和液晶制造工藝。 采用封閉電機，油不會從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅動類型作為選項。