Swagelok   全焊接單向閥  防氣回流

Swagelok   全焊接單向閥  防氣回流

半導體 / 特種氣體管路全焊接高純止回閥，VCR 面密封連接。

定位超高純氣路單向保護元件，主打低微粒釋放、極低漏氣率；閥體整體焊接，消除閥體泄漏點。區別前面 CA/CH 可拆閥：CW 是**一次性全焊接閥，不能維保**，用于超高純特氣柜、氣體分配面板，防止氣體回流污染氣源。

核心特點

全焊接閥體：無閥體拆裝縫隙，降低氣體滲透、微粒析出，氦檢漏級別

316L 低碳不銹鋼：低碳材質，減少碳析出，適配超高純特種氣體

VCR 面密封連接：金屬墊片密封，無卡套縫隙，高純管路行業標準接口

2psi 微開啟：極低固定開啟壓力，微小壓差即可導通，流阻小

FKM 閥芯密封：耐烴類、惰性氣體，抗老化；閥芯一體式粘接密封

X750 合金彈簧：耐腐蝕、抗應力松弛，長期工況開啟壓力穩定

低微粒釋放：內孔精密加工 / EP 電拋版本，滿足半導體顆粒控制要求

固定啟閉特性：出廠標定 2psi，批次一致性好，回路壓差穩定

緊湊直通結構，節省特氣柜面板安裝空間

出廠逐臺氣密性檢測，可提供檢測報告

應用場景

1. 半導體、光伏、LCD 超高純特種氣體輸送管路（N2、Ar、He 等惰性氣）

2. 特氣柜、氣體分配盤、氣體支管單向保護，防止氣源回流污染

3. 分析儀器高純氣路、實驗室超高純供氣系統

4. 微電子工藝潔凈氣體管路，微量雜質控制場景

5. 潔凈工藝保護，防止反向壓力倒灌