MITUTOYO三豐  白光干涉測(cè)量?jī)x   無(wú)探針

MITUTOYO三豐  白光干涉測(cè)量?jī)x   無(wú)探針

臺(tái)式一體式超高精度低測(cè)力測(cè)厚 / 高度測(cè)量?jī)x，屬于三豐 Litematic 系列精密接觸式量?jī)x，主打軟質(zhì)、超薄、易壓傷變形工件的厚度、臺(tái)階、高度、跳動(dòng)檢測(cè)，區(qū)別于普通高度規(guī)、普通測(cè)微儀。

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

1. 0.01N（1gf）超低恒定測(cè)力輕柔接觸，幾乎不會(huì)壓薄、壓傷薄膜、光學(xué)鏡片、軟膠、晶圓；同系列還有 0.15N /1N 出廠可選版本，測(cè)力固定出廠標(biāo)定，不可現(xiàn)場(chǎng)自行切換。

2. 超高分辨率與精度分辨率 0.01/0.1/1μm 三檔切換；測(cè)量行程 0~50mm；精度 (0.5+L/100)μm，L 單位 mm；重復(fù)精度 0.02μm 以內(nèi)；光柵線性編碼器，讀數(shù)穩(wěn)定。

3. 電動(dòng)主軸，自動(dòng)觸停電機(jī)驅(qū)動(dòng)測(cè)桿下行，測(cè)頭碰到工件立即停止，恒定測(cè)力采集；支持最大值 / 最小值 / 振幅（跳動(dòng)）測(cè)量，適合翹曲件、薄片波動(dòng)檢測(cè)。

4. 溫穩(wěn)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)測(cè)桿采用低膨脹特種材料，工作臺(tái)為陶瓷臺(tái)面，防銹、低熱形變，降低環(huán)境溫度帶來(lái)的測(cè)量誤差，維護(hù)簡(jiǎn)單。

5. 數(shù)據(jù)輸出能力RS232 接口，搭配 VLink / SensorPak 軟件，電腦采集、SPC 統(tǒng)計(jì)、公差判定，可接腳踏開(kāi)關(guān)實(shí)現(xiàn)快速批量檢測(cè)。

6. 一體式整機(jī)主機(jī) + 顯示面板一體，無(wú)需單獨(dú)搭配計(jì)數(shù)器；對(duì)比分體 VL-50S-B，適合質(zhì)檢室、離線抽檢，不用集成設(shè)備機(jī)架。

應(yīng)用場(chǎng)景

• 光學(xué)行業(yè)（你前面關(guān)注的物鏡 / 鏡片配套檢測(cè)）：光學(xué)鏡片、濾光片、透鏡基底厚度、臺(tái)階差，防止測(cè)頭壓傷光學(xué)鍍膜

• 薄膜 / 功能膜：光學(xué)膜、PET 薄膜、軟基材厚度測(cè)量

• 半導(dǎo)體：硅片、引線框架厚度、翹曲高度檢測(cè)

• 塑膠 / 橡膠：硅膠墊片、薄膜按鍵、軟塑料件，避免壓入形變導(dǎo)致厚度測(cè)不準(zhǔn)

• 醫(yī)療耗材：薄型醫(yī)用膜、墊片、注射器零部件

• 精密電子：薄金屬?gòu)椘CB 薄板、電池極片厚度、微小臺(tái)階高度、平面跳動(dòng)檢測(cè)