更新時(shí)間:2026-07-30
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關(guān)閉 TFW-100 主機(jī)、TF-Lab 軟件,斷開(kāi)設(shè)備電源,等待鹵素?zé)舫浞掷鋮s 30 分鐘,高溫?zé)襞萦|碰會(huì)燙傷、炸裂。
佩戴無(wú)塵手套、防靜電手環(huán),禁止裸手接觸鏡頭、燈泡、光路鏡片,指紋油污會(huì)損傷鍍膜。
準(zhǔn)備耗材:無(wú)油壓縮氣吹、光學(xué)專用擦鏡紙、99.7% 無(wú)水乙醇、無(wú)塵棉簽、原廠 12V100W 鹵素?zé)簟⑹中÷萁z刀、無(wú)塵收納盒。
作業(yè)環(huán)境:無(wú)塵操作臺(tái),關(guān)閉風(fēng)機(jī)直吹,避免灰塵二次落在光學(xué)元件表面。
用氣吹斜 45° 遠(yuǎn)距離吹掃鏡頭表面浮塵,先吹后擦,避免顆粒劃傷鍍膜。
折疊雙層擦鏡紙,滴 1 滴無(wú)水乙醇,僅潤(rùn)濕紙角,禁止液體直接滴在鏡頭上。
鏡頭中心向外勻速單向螺旋擦拭,單次一張擦鏡紙只使用一次,不重復(fù)擦拭。
換干擦鏡紙輕吸殘留溶劑,靜置 1 分鐘自然揮發(fā),確認(rèn)表面無(wú)水漬、印痕再開(kāi)機(jī)。
斷電冷卻后,旋轉(zhuǎn)取下前端測(cè)量物鏡,放置于無(wú)塵紙上。
依次清潔物鏡前端鏡片、后端入光鏡片、鏡筒內(nèi)壁浮塵,棉簽蘸少量乙醇擦拭鏡筒內(nèi)部。
清潔設(shè)備內(nèi)部分光窗口、參考光路反射鏡片,流程同樣先吹塵再擦拭。
確認(rèn)所有光學(xué)元件干燥無(wú)殘留,對(duì)準(zhǔn)螺紋平穩(wěn)裝回物鏡,手?jǐn)Q至貼合,禁止工具大力緊固。
開(kāi)機(jī)預(yù)熱 15 分鐘,使用標(biāo)準(zhǔn)硅片校準(zhǔn)基線,檢查光斑均勻無(wú)暗斑。
禁用 75% 酒精、丙酮、紙巾、棉簽干擦鏡頭;禁用鑷子、毛刷硬刮鏡片。
溶劑過(guò)量滲入鏡筒會(huì)腐蝕內(nèi)部鍍膜、粘連鏡組。
鏡頭表面存在劃痕無(wú)法修復(fù),只能更換原廠物鏡。
斷電冷卻 30 分鐘,打開(kāi)設(shè)備后側(cè)光源倉(cāng)蓋板固定螺絲,取下蓋板。
觀察燈座結(jié)構(gòu),松開(kāi)燈泡兩側(cè)接線端子卡扣,輕拔電源接頭。
松開(kāi)燈架兩顆固定螺絲,取出老化鹵素?zé)簦p拿燈座金屬底座,不觸碰燈泡玻璃管壁。
取出全新原廠 12V100W 鹵素?zé)簦檀鳠o(wú)塵手套,禁止觸摸玻璃泡殼。
將燈泡對(duì)準(zhǔn)燈架卡槽平穩(wěn)放置,輕微涂抹薄層導(dǎo)熱硅脂于金屬底座,提升散熱。
固定燈架螺絲,力度輕柔不打滑,插回光源接線端子,確認(rèn)接觸緊實(shí)無(wú)松動(dòng)。
對(duì)齊光路:輕微微調(diào)燈架左右、高低位置,保證鎢絲對(duì)準(zhǔn)光路中心。
裝回光源倉(cāng)蓋板,擰緊固定螺絲,接通電源。
開(kāi)機(jī)整機(jī)預(yù)熱 20 分鐘,打開(kāi) TF-Lab 測(cè)量軟件。
進(jìn)入校準(zhǔn)界面,執(zhí)行暗電流采集、標(biāo)準(zhǔn)硅片基線校正。
觀察光譜曲線全波段強(qiáng)度均勻,無(wú)局部凹陷、毛刺;多點(diǎn)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)膜厚片,數(shù)值誤差回歸設(shè)備公差范圍即更換完成。
記錄燈泡更換時(shí)間、累計(jì)點(diǎn)亮?xí)r長(zhǎng),建立耗材更換臺(tái)賬。
氣吹清理物鏡表面灰塵,目視檢查光斑完整。
擦拭載物臺(tái)玻璃測(cè)量窗口,清除樣品粉塵、碎屑。
查看光源強(qiáng)度數(shù)值,強(qiáng)度低于閾值提前備燈。
完整拆解清潔物鏡、內(nèi)部分光鏡片、光源出光窗口。
清理設(shè)備散熱孔灰塵,保證鹵素?zé)羯嵬〞常苊飧邷丶铀贌襞堇匣?/p>
緊固光源倉(cāng)、光路模塊所有固定螺絲,防止震動(dòng)偏移光路。
執(zhí)行全波段基線校準(zhǔn)、多點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)片驗(yàn)證測(cè)量精度。
清潔內(nèi)部光譜探測(cè)器窗口,氣吹清理光路腔體積塵。
檢查設(shè)備電源線、USB 通訊線有無(wú)老化破損。
測(cè)試 Z 軸升降載物臺(tái)運(yùn)行順滑度,清理軌道粉塵。
核對(duì)燈泡累計(jì)工作時(shí)長(zhǎng),臨近 2000 小時(shí)提前采購(gòu)備用光源。
整機(jī)光路準(zhǔn)直檢測(cè),光軸偏移超標(biāo)聯(lián)系原廠調(diào)校。
更換老化散熱風(fēng)扇、密封圈。
全套光學(xué)元件深度清潔,更新整套基線校準(zhǔn)參數(shù)。
每日停機(jī)后用氣吹清潔鏡頭,蓋上原廠鏡頭防塵蓋。
長(zhǎng)期停機(jī)超過(guò) 7 天,斷開(kāi)電源,取出光源燈泡單獨(dú)防潮存放。
整機(jī)放置 40%–60% 濕度無(wú)塵環(huán)境,套設(shè)備防塵罩,內(nèi)部放置干燥劑。
再次啟用前完整清潔光路、更換干燥劑,預(yù)熱校準(zhǔn)后再生產(chǎn)測(cè)量。