2026 年 09 月 15 日，日本大阪 —— 全球精密流體控制品牌 FUJIKIN 富士金正式發布新一代超高純金屬波紋管閥系列產品，面向半導體晶圓制造、ALD 薄膜沉積、特種工藝氣體輸送場景，進一步優化閥門微粒釋放、循環壽命與流體通流能力，面向全球半導體客戶同步推出。

富士金作為半導體超高純閥門領域廠商，本次新品延續品牌經典波紋管全隔離密封技術。采用 Inconel 合金波紋管結構，隔離驅動機構與工藝介質，摒棄傳統填料密封結構，從根源杜絕介質外泄漏風險，適配硅烷、氯氣、鎢氟化物等易燃易爆、強腐蝕特種工藝氣體。閥體基材選用 SUS316L 不銹鋼，內部接液表面提供 EP 電解拋光與 UP 超拋光兩種規格，內壁光潔度優異，降低微粒附著與金屬離子析出，滿足先進制程 UHP 超高純管路要求。

本次產品升級亮點

1. 波紋管疲勞壽命大幅提升：合金波紋管材料配方與成型工藝優化，啟閉循環壽命相比上一代產品提升 40%，減少半導體閥組箱內閥門更換頻次，降低產線停機維護成本。

2. 通流能力優化：通過流體仿真重構閥體內部流道，流量系數 Cv 提升，同時保持閥體安裝外形尺寸不變，支持老設備直接替換，無需改造管路布局，實現 Drop-in 兼容。

3. 內置流量微調機構：閥體內集成 Cv 獨立調節結構，可單臺校正流量偏差，改善 ALD 工藝氣體供給一致性，提升薄膜厚度均勻性。

4. 驅動可視化設計：氣動版本通過上蓋顏色區分常開 / 常閉類型，現場運維人員快速識別閥門狀態；同時提供手動旋鈕款，適配不同控制需求。

5. 嚴苛出廠質控：全部產品在富士金一級潔凈室完成組裝、清洗、禁油處理，每臺產品出廠執行氦質譜檢漏，附帶完整檢測報告。接口支持 VCR 金屬密封、UJR、焊接、卡套等多種形式，適配特氣柜、機臺狹小閥組空間。

富士金研發負責人表示，隨著半導體先進制程持續推進，特氣管路內微粒污染、氣體供給不穩定等因素直接影響良率。新一代波紋管閥兼顧高密封性、長壽命與大流量，解決特種腐蝕性、危險性氣體輸送痛點，助力晶圓廠實現穩定的氣體供給。產品可廣泛用于 CVD、刻蝕、ALD 等半導體核心制程，也可應用于光伏、分析儀器等高潔凈流體系統。