2026 年 09 月 22 日，上海—— 日本超高純流體控制品牌 FUJIKIN 富士金，將于 2026 年 10 月 20 日在上海舉辦專題技術講座《半導體先進制程 UHP 特氣管路設計與波紋管閥應用實踐》，面向半導體設備、工藝、氣體管路及設備運維工程師，分享特種氣體管路系統工程經驗與閥門解決方案。

先進半導體制程對于特種工藝氣體的純凈度、管路密封性、微粒控制要求持續升級，波紋管閥作為特氣柜核心部件，其密封可靠性、循環壽命、微粒釋放性能，直接決定產線良率與安全生產水平。本次講座由 FUJIKIN 富士金資深流體技術專家主講，結合大量晶圓廠現場案例，圍繞超高純波紋管閥核心技術展開深度分享。

講座核心分享內容

1. FUJIKIN 波紋管閥核心密封原理，全金屬波紋管隔離結構如何杜絕介質泄漏、降低微粒產生；

2. 特氣閥門選型要點：波紋管閥、隔膜閥、針閥的適用工況對比，腐蝕性、易燃易爆特種氣體閥件選型策略；

3. 現場常見故障解析：波紋管疲勞破損、氦檢泄漏、閥內微粒污染、流量不穩定等問題的成因與預防方案；

4. UHP 管路安裝規范、焊接要點、潔凈裝配要求、預防性維保策略，延長閥件使用壽命，減少非計劃停機；

5. 新品技術解讀，介紹新一代長壽命波紋管閥技術特點、適配場景與替換改造方案；

6. 現場互動答疑，針對參會工程師在產線遇到的管路、閥門難題進行一對一技術交流。

本次講座采用線下會場為主，配套線上同步直播的形式。講座現場將陳列富士金超高純波紋管閥實物樣品，參會人員可近距離觀察閥體結構、EP 拋光內壁與波紋管組件。技術團隊現場接受樣品評估、工況方案咨詢。