MIYUKI美幸輝  壓力控制器  雙真空計輸入

MIYUKI美幸輝  壓力控制器  雙真空計輸入

閉環真空壓力控制器（APC），不是普通機械式壓力開關，是一套閥?控制器?真空計組成的閉環穩壓系統，日本 MIYUKI 美幸輝機型，主打半導體、鍍膜精密真空腔體恒壓控制。

工作原理

1. 閉環控制邏輯：采集真空計 0?10V 壓力信號，和目標設定壓力對比，經過 PID 算法輸出，驅動 GAR/BAR 電動蝶閥改變閥開度，維持腔體壓力穩定。

2. PIDAT 自動整定：7 檔自動調諧，設備自動識別腔體氣路特性，自動算出 P/I/D 參數，減少人工調試；采用微分先行算法，設定值突變時不易震蕩，壓力過渡更平滑。

3. 上電原點復位：開機閥門自動回原點，確認閥位基準。

4. 安全機制：支持外接 UPS，主電斷電后依靠 UPS 輸出信號，強制關閉調節閥，保護腔體、樣品，防止異常泄壓 / 進氣；具備報警輸出、閥位開度實時顯示。

5. STEP 步進模式：可以做壓力階梯爬升 / 下降工藝，適配鍍膜、刻蝕的分段工藝。

產品優勢

精度高：±0.1% 設定值精度，對比普通真空控制器常見 ±0.5?1%，適合薄膜工藝對壓力波動敏感場景。

雙真空計輸入：可同時接兩只真空計，實現腔體內外 / 閥前后雙點監測，適合寬量程工藝切換。

三種控制方式：觸摸屏本地、I/O 硬接線聯鎖、RS?232C 上位機，方便集成到設備整機 PLC 系統。

自帶真空計供電，減少外部電源配線。

7 組工藝配方存儲，多產品工藝一鍵調用，重復性好。

半寬 19 英寸機架，節省機柜空間。