MIYUKI美幸輝  壓力控制器  三種控制方式

MIYUKI美幸輝  壓力控制器  三種控制方式

閉環(huán)真空壓力控制器（APC），不是普通機(jī)械式壓力開關(guān)，是一套閥?控制器?真空計(jì)組成的閉環(huán)穩(wěn)壓系統(tǒng)，日本 MIYUKI 美幸輝機(jī)型，主打半導(dǎo)體、鍍膜精密真空腔體恒壓控制。

工作原理

1. 閉環(huán)控制邏輯：采集真空計(jì) 0?10V 壓力信號(hào)，和目標(biāo)設(shè)定壓力對(duì)比，經(jīng)過 PID 算法輸出，驅(qū)動(dòng) GAR/BAR 電動(dòng)蝶閥改變閥開度，維持腔體壓力穩(wěn)定。

2. PIDAT 自動(dòng)整定：7 檔自動(dòng)調(diào)諧，設(shè)備自動(dòng)識(shí)別腔體氣路特性，自動(dòng)算出 P/I/D 參數(shù)，減少人工調(diào)試；采用微分先行算法，設(shè)定值突變時(shí)不易震蕩，壓力過渡更平滑。

3. 上電原點(diǎn)復(fù)位：開機(jī)閥門自動(dòng)回原點(diǎn)，確認(rèn)閥位基準(zhǔn)。

4. 安全機(jī)制：支持外接 UPS，主電斷電后依靠 UPS 輸出信號(hào)，強(qiáng)制關(guān)閉調(diào)節(jié)閥，保護(hù)腔體、樣品，防止異常泄壓 / 進(jìn)氣；具備報(bào)警輸出、閥位開度實(shí)時(shí)顯示。

5. STEP 步進(jìn)模式：可以做壓力階梯爬升 / 下降工藝，適配鍍膜、刻蝕的分段工藝。

產(chǎn)品優(yōu)勢

精度高：±0.1% 設(shè)定值精度，對(duì)比普通真空控制器常見 ±0.5?1%，適合薄膜工藝對(duì)壓力波動(dòng)敏感場景。

雙真空計(jì)輸入：可同時(shí)接兩只真空計(jì)，實(shí)現(xiàn)腔體內(nèi)外 / 閥前后雙點(diǎn)監(jiān)測，適合寬量程工藝切換。

三種控制方式：觸摸屏本地、I/O 硬接線聯(lián)鎖、RS?232C 上位機(jī)，方便集成到設(shè)備整機(jī) PLC 系統(tǒng)。

自帶真空計(jì)供電，減少外部電源配線。

7 組工藝配方存儲(chǔ)，多產(chǎn)品工藝一鍵調(diào)用，重復(fù)性好。

半寬 19 英寸機(jī)架，節(jié)省機(jī)柜空間。