Swagelok   全焊接單向閥  微壓?jiǎn)㈤_(kāi)

Swagelok   全焊接單向閥  微壓?jiǎn)㈤_(kāi)

半導(dǎo)體 / 特種氣體管路全焊接高純止回閥，VCR 面密封連接。

定位超高純氣路單向保護(hù)元件，主打低微粒釋放、極低漏氣率；閥體整體焊接，消除閥體泄漏點(diǎn)。區(qū)別前面 CA/CH 可拆閥：CW 是**一次性全焊接閥，不能維保**，用于超高純特氣柜、氣體分配面板，防止氣體回流污染氣源。

核心特點(diǎn)

全焊接閥體：無(wú)閥體拆裝縫隙，降低氣體滲透、微粒析出，氦檢漏級(jí)別

316L 低碳不銹鋼：低碳材質(zhì)，減少碳析出，適配超高純特種氣體

VCR 面密封連接：金屬墊片密封，無(wú)卡套縫隙，高純管路行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)接口

2psi 微開(kāi)啟：極低固定開(kāi)啟壓力，微小壓差即可導(dǎo)通，流阻小

FKM 閥芯密封：耐烴類、惰性氣體，抗老化；閥芯一體式粘接密封

X750 合金彈簧：耐腐蝕、抗應(yīng)力松弛，長(zhǎng)期工況開(kāi)啟壓力穩(wěn)定

低微粒釋放：內(nèi)孔精密加工 / EP 電拋版本，滿足半導(dǎo)體顆粒控制要求

固定啟閉特性：出廠標(biāo)定 2psi，批次一致性好，回路壓差穩(wěn)定

緊湊直通結(jié)構(gòu)，節(jié)省特氣柜面板安裝空間

出廠逐臺(tái)氣密性檢測(cè)，可提供檢測(cè)報(bào)告

應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體、光伏、LCD 超高純特種氣體輸送管路（N2、Ar、He 等惰性氣）

2. 特氣柜、氣體分配盤、氣體支管單向保護(hù)，防止氣源回流污染

3. 分析儀器高純氣路、實(shí)驗(yàn)室超高純供氣系統(tǒng)

4. 微電子工藝潔凈氣體管路，微量雜質(zhì)控制場(chǎng)景

5. 潔凈工藝保護(hù)，防止反向壓力倒灌